產(chǎn)品分類
- 產(chǎn)品描述
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項(xiàng)目
配置和指標(biāo) 1
整體結(jié)構(gòu) 箱式立式，右前開(kāi)門，內(nèi)腔尺寸φ900mm×1480mm，內(nèi)外電解拋光。外壁水冷，預(yù)留多法蘭接口，主機(jī)骨架采用型鋼制造，與主泵間設(shè)隔板。電器元件安裝柜為縱向大板式結(jié)構(gòu)，外觀為鈑金封裝式。 2
系統(tǒng)控制 采用觸摸屏和PLC中央控制方式，配合相關(guān)電氣控制單元對(duì)設(shè)備真空系統(tǒng)、蒸發(fā)源系統(tǒng)、工件轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)、膜厚監(jiān)控系統(tǒng)等進(jìn)行監(jiān)測(cè)和控制，設(shè)水、電、氣故障自動(dòng)聲光報(bào)警和保護(hù)系統(tǒng)，可切換手動(dòng)和自動(dòng)兩種控制模式。 3
真空系統(tǒng) 真空配置干泵、羅茨泵、冷凝泵，整體抽速大氣至5×10-6 Torr少于30min，極限真空度2×10-7 Torr，漏率優(yōu)于5E-5Torr L/S，皮拉尼和電離真空計(jì)組合監(jiān)控真空度。 4
工件架系統(tǒng) 整傘式工件架，轉(zhuǎn)速0-20轉(zhuǎn)每分鐘可調(diào)節(jié)，徑向跳動(dòng)在±2mm。整傘式不銹鋼鍍膜傘，厚度3mm，可裝載6片8英寸基片。 5
烘烤系統(tǒng) 下烘烤方式，碘鎢燈加熱，溫度范圍RT-450℃，PID自動(dòng)控溫，溫度均勻性RT -450℃±5℃，溫控儀控制精度±1℃。 6
電子束蒸發(fā)源 最大功率10KW， e型電子槍，配4 x 25cc坩堝一套，坩堝底部驅(qū)動(dòng)器控制，可有線遙控束斑旋轉(zhuǎn)角度和起始位置，插入式擋板，底部氣缸驅(qū)動(dòng)，一路電子槍氣體備用。 7
等離子體源 自制高輸出陰極離子源，最大電流10A，最大電壓300V，自動(dòng)啟動(dòng)和停止，長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定工作100小時(shí)以上，三路工藝氣體。 8
膜厚控制系統(tǒng) 六探頭石英晶體膜厚儀和相應(yīng)控制系統(tǒng)，可系統(tǒng)控制蒸發(fā)源蒸發(fā)速率、蒸發(fā)源擋板、材料充氣、電子槍坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)真空、自動(dòng)鍍膜工藝。 9
條保需求 設(shè)備最大功率約50KW。電子槍獨(dú)立地線，接地電阻≤4Ω。
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